增强型皮拉尼真空传感器
宽量程:0.01Pa~133kPa,抗冲击和振动
美国Instrutech CVG101系列对流增强型皮拉尼真空传感器,可以配合真空控制器VGC301,B-Rax 3000系列或FlexRax 4000系列使用。相对于其他真空计拥有多增强设计,温度补偿功能放置真空规管的外面,消除不必要的部件和焊接,大大提高了性,提供的真空测量,同时降低成本。改进后受机械冲击和振动的影响较小。在入口有一个精细的网筛,有助于防止颗粒物的进入。该表也可以防止射频干扰。比热电偶真空计量程范围宽广,度。
应用及
● 大学/研究所 ● 半导体
● 数据存储 ● 薄膜沉积
● 平板显示 ● 分析仪器
● 工艺真空 ● 冶金工业
● 真空泵系统
产品特色
● 增强型皮拉尼规
● 宽泛的测量范围:0.01Pa~133kPa
● 一个真空计就可以监控您的真空抽气和排气系统
● 可替代Graville-Phillips系列真空传感器使用
● 稳健设计承受多冲击和振动
● 低价位,为您节约成本
● 安装和操作容易
技术指标
测量范围 1×10 -4 ~1000 Torr
1.3×10 -4 ~1333 mbar
1.3×10 -2 Pa~133 kPa
(N2,典型) 10 -4 ~10 -3 Torr;0.1 mTorr分辨率
10 -3 ~400 Torr;±10%读数
400~1000 Torr;±2.5%读数
重 复 性 ±2%读数
工作温度 0~50℃
烘烤温度 150℃(仅限于表,电子元件移除)
工作湿度 0~95%RH,非冷凝
安装方向 水平(1 Torr以下安装方式无影响)
接液材质 镀金钨,304 和316 不锈钢,玻璃,镍,特氟龙
内部容积 26 cm 3 (1.589 in 3)
内部表面面积 59.7 cm 2(9.25 in 2)
泄 漏 率 <1×10 -9 atm cc/sec He
重 量 85 g(3 oz)
RF/EMI CE
环境 RoHS